气体流量传感器的核心是加热器和温度传感器，可以根据气体流动时相应的热传递检测气体流动的速度和方向，对通过芯片的空气或其他气体流量有灵敏快速的响应。根据工作原理，气体流量传感器可分为应变、压电、压阻、电感、电容、光电、电阻、电容、电感、电压、霍尔、光电、光栅、热电偶等气体流量传感器。
MEMS气体质量流量计产品原理，采用具有自主知识产权的MEMS芯片作为传感器核心部件，当没有气体介质流过传感器芯片时，传感器周围保持稳定的温度场（温度分布）,当气体介质流过传感器芯片时，温度场因为流体介质带走热量导致局部温度重新分布。局部温度场的变化量取决于流体介质的质量及流速。集成在芯片上的传感器对此温度分布进行测量，通过校准，专门设计的信号处理电路和智能控制软件可精确测量实际的介质质量流量.
气体流量传感器的使用功能
气体流量传感器具有显示功能：能同时显示累积流量、瞬时流量、压力和温度。2、气体流量传感器具有通讯功能： 可以与分站的智能口进行RS485通讯，并能同时输出累积流量、瞬时流量、压力和温度。
气体流量传感器是质量流还是体积流的呢？
其实，要看什么样的流量计，差压式流量计通过积算仪可以显示体积和质量，本身直接测量出来的是体积量，在计算仪内输入该状态下的密度换算出质量，像涡街也是直接测量出的是体积量，涡轮流量计和罗茨流量计超声流量计，都是体积量，科里奥利质量流量计为质量流量
