电容式压力传感器基于硅材料，采用电容原理，即利用电容变化将压力转换为电容变化，这是由MEMS技术制成的传感器。电容式压力传感器的特点如下：
（1）高阻抗和低功率，因此所需的输入力很小，输入能量也很低。电容式传感器的电极板之间的静电吸引力很小（大约10-5N），因此所需的输入能量非常小，因此特别适合解决低输入能量的测量问题，例如测量极低的压力和力。而且非常小的加速度，位移等，它可以做得非常灵敏，分辨率很高，并且可以感觉到0.001μm或更小的位移。
（2）良好的温度稳定性。传感器的电容值通常与电极材料无关，这有利于选择温度系数低的材料，并且由于它产生的热量很少，因此对稳定性的影响很小。
（3）结构简单，适应性强。测试对象可以是导体或半导体，并且可以在恶劣的环境中工作。电容传感器结构简单，易于制造，并且可以做得很小以实现某些特殊的测量；它可以在高温和低温，强辐射和强磁场等恶劣环境中工作，还可以测量磁性工件。
