压力传感器是一种能够感知压力信号,并按照一定的规则将压力信号转换成可用的输出电信号的装置。压力传感器通常由压敏元件和信号处理单元组成。根据试验压力的不同类型,压力传感器可分为蓝宝石压力传感器、扩散硅压力传感器、表压传感器、差压传感器和绝对压力传感器。其中比较少见的蓝宝石压力传感器和扩散硅压力传感器工作原理的含义由下文解释
蓝宝石压力传感器:
最初使用应变电阻,使用硅蓝宝石作为半导体敏感元件,蓝宝石压力传感器具有无与伦比的测量特性。传感器电路可以保证应变桥电路的供电。它还可以将应变桥的不平衡信号转换成统一的电信号输出。在绝压传感器和变送器中,蓝宝石片与陶瓷基玻璃焊料连接,起到弹性元件的作用。它将被测压力转化为应变片变形,从而达到压力测量的目的。因此,由硅蓝宝石制成的半导体敏感元件对温度变化不敏感。即使在高温条件下也具有很好的工作能力;蓝宝石具有很强的抗辐射性。
扩散硅压力传感器:
扩散硅压力传感器的工作原理也是基于压阻效应。利用压阻效应原理,被测介质的压力直接作用于传感器的膜片(不锈钢或陶瓷)。因此隔膜产生与介质压力成正比的微位移。并且传感器的电阻值也会发生变化。扩散硅压力传感器使用电子电路来检测这种变化。它们转换并输出与该压力相对应的标准测量信号。