如果传感器是使用MEMS技术设计和制造的,那么它被称为微机械微传感器或简称为MEMS传感器。MEMS技术的主要实施者之一是汽车行业。现代汽车使用大量传感器,其中大多数是基于MEMS的设备。MEMS传感器已被用于各种应用,例如控制和处理设备、管理机器人、汽车、夹具等。您可以在现代喷墨打印机、彩色投影仪、显示系统、时钟和扫描设备中找到这些传感器。
MEMS技术用于制造不同的传感器,如压力、温度、振动和化学传感器。加速度计、陀螺仪、电子罗盘等是汽车、直升机、飞机、无人机和船舶中常用的一些MEMS传感器。
下面提到了基于MEMS的传感器的一些应用领域:
1.汽车2.化学制药3.飞机4.工业自动化与制造
5.国防、航天和航空6.环境与健康科学7.计算和通信8.消费产品