1.金属传感元件
一个或多个由一段金属丝制成的应变仪传感器可以连接到隔膜的表面。
隔膜上的压力会拉伸电线并改变电阻。传感器元件可以用粘合剂粘合到表面上,或者导体可以通过溅射直接沉积在隔膜上。后一种方法消除了粘合剂在高温下失效的潜在问题,并且更容易构建小型设备。
金属线传感器也可以通过在因压力变化而移位的柱之间缠绕电线来制造。这种结构也可以在更高的温度下工作,因为不需要粘合剂将电线连接到柱子上。
2.半导体传感元件
半导体材料,最常见的是硅,也可用于制造应变计压力传感器。传感元件的特性,特别是压阻效应的大小,可以通过掺杂来调节;换句话说,通过在半导体中添加仔细控制数量的杂质(掺杂剂)。
更轻掺杂的硅导致更高的电阻率和更高的规格因数。然而,这也增加了电阻和规格因数的热敏感性。