目前电容式传感器测量电路常用的有桥式电路、谐振电路、调频电路、运算放大电路、差分脉宽调制电路等。
1.桥式电路
2.谐振电路
电容传感器的电容Cx充当谐振回路（L2、C2、Cx）的调谐电容的一部分。谐振回路通过电感耦合从稳定的高频振荡器获得振荡电压。当传感器的电容发生变化时，谐振电路的阻抗也随之发生变化，转化为电压或电流，经放大检测后即可得到相应的输出。
3.调频电路
4.运算放大器电路
uy=-u0?(C0/Cx)=-u0(C0δ/ε0εrA)
输出电压与间隙成线性关系。
5.脉宽调制电路
U0=U1?(Δδ/δ0)
直流输出电压与输入呈线性关系（间隙变化）。
