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直接量规和间接量规真空压力表产生的可测量压力效应

发布时间:2023-05-11 18:06:08人气:

 当需要为您的真空泵或系统选择新的或更换的压力表时,采取周到的方法很重要。乍一看,这似乎是一项简单的任务,但您需要考虑几个因素。各种因素会影响压力表的整体性能/可靠性,并且必须成为决策过程的一部分。每个仪表都有自己的工作范围和准确度级别,并提供自己的一系列优势和限制。


 在深入研究这些主要选项之前,让我们研究一下压力表类型。有两种主要类型的真空压力表:直接和间接。


 1、直接量规


 直接压力表将为您提供真空系统的压力,与气体类型无关(因此也称为气体独立压力表)。这些只能在10-4 mbar以上的压力下有效工作。这是因为它们依赖于系统中具有物理效应的分子,并且在较低压力下,没有足够的分子产生可测量的效应。包括:


 压电真空和超压的精确测量,低至1 mbar左右(低于1 mbar的精度往往会漂移)

 机械表盘压力的视觉指示(在本地显示应用中很有用)

 电容高度准确,能够测量从大气压到10-5托(测量4个十进制,在前2个十年内具有极高的精度)


 2、间接量规


 间接测量仪通常依赖于两种测量技术:热导或电离。两种测量技术都取决于气体类型;因此,如果您想知道真实压力,了解您正在测量的气体很重要。通过了解气体类型,您可以应用气体校正因子。这些压力表分为三种主要类型:


 皮拉尼(热力计)用于粗真空到中等真空,通常作为压电/电容计的低成本替代品,精度不那么重要

 冷阴极(电离计)用于中到高真空以指示压力(用于高颗粒应用的稳健技术)

 热阴极(电离规)用于中到超高真空,与冷阴极技术相比,精度更高,测量范围更广,缺点包括它需要稍高的功率,并且对振动/冲击和空气涌入更敏感,但它非常适合清洁、高真空应用


 3、主动和被动压力表


 对于间接量规,还有另一个小节:主动和被动。


 您在市场上看到的大多数压力表都是活动的,带有嵌入式电子设备来进行信号处理并提供0-10 V或其他与压力成比例的模拟输出。然而,在辐射量大的环境中,有源传感器会受到影响且不可靠。在这些情况下,您可以获取移除电子设备并将其放入控制器的压力表版本,该控制器可以远离辐射区域放置以获得最佳性能。

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