薄膜式压力传感器的最大检测压力范围取决于其设计和制造的具体参数和材料选择。一般来说,薄膜式压力传感器的最大检测压力范围通常是在传感器规格说明中指定的。
对于普通的商业薄膜式压力传感器,其最大检测压力范围通常在几千帕(kPa)到几百兆帕(MPa)之间。但也有专门设计用于高压力范围的薄膜式压力传感器,其最大检测压力范围可以达到几千兆帕(GPa)。
需要注意的是,传感器的最大检测压力范围并不意味着传感器在整个压力范围内都能提供相同的准确性和精度。传感器的准确性和精度通常在其规格说明中给出,并且在最大检测压力范围内可能会有一些误差或非线性特性。
因此,在选择薄膜式压力传感器时,需要根据应用的具体需求和工作条件来选择适当的传感器,确保其最大检测压力范围能够满足实际需求,并在这个范围内保持较高的准确性和精度。