MEMS传感器即微机电系统，是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。
1、MEMS气体流量传感器：高精度，检测流量范围广，适用于各种需求的流量计测。2、MEMS压力传感器：性能偏差小的MEMS压力传感器。3、MEMS非接触温度传感器：对静止人体也能检测，高灵敏度的人体感应传感器。4、MEMS开关：高频，小型，长寿命的MEMS开关。中国在MEMS传感器领域的研究较晚，但已经成为不可或缺的力量，中国的部分专利权的创新主体协同格局前提下，加大科技资金投入不但可以消解技术创新发展中的资金阻滞，又有助于引导企业或单位技术创新意识，从而提高我国创新驱动效率，促进经济快速而稳健的发展。
产品原理MEMS气体质量流量计采用具有自主知识产权的MEMS芯片作为传感器核心部件，当没有气体介质流过传感器芯片时，传感器周围保持稳定的温度场（温度分布）,当气体介质流过传感器芯片时，温度场因为流体介质带走热量导致局部温度重新分布。局部温度场的变化量取决于流体介质的质量及流速。集成在芯片上的传感器对此温度分布进行测量，通过校准，专门设计的信号处理电路和智能控制软件可精确测量实际的介质质量流量.
自成立一直用的就是赛亚的MEMS传感器，对于客户的安全我们是非常重视的，由于塞亚是国内领先的MEMS烟雾气体传感器制造商，运用MEMS热电堆芯片，精度和灵敏度都大大的高，在芯片技术、MEMS封装等方面都很适合我们，而且产品体积小、功耗低、灵敏度高、精度高，用了很多年了，至今没出现过问题的。
