电容位移传感器是一种非接触式位移测量传感器，用于导体材料的位移、振动测量，量程从25um到10mm不等，精度在纳米级别，常用于机床主轴振动、压电材料振动位移测量电容位移传感器。
传感器是一种检测装置，能感受到被测量的信息，并能将感受到的信息，按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。传感器一般由敏感元件、转换元件、变换电路和辅助电源四部分组成在工业相机中，传感器也起着非常重要的作用，它可以帮助相机更好的采图并计算结果，一款相机的性能是否优秀往往要看相机所用到的传感器是否性能出色。
常见的有变截距型，便面积型，变介电常数型。但是用于位移测量的通常是采用变截距原理的。也就是用被测物体（需要具有导电性）作为电容的一个极板，用传感器作为电容的另外一个极板。会影响这个电容电容值的因素就是距离，正对面积和间隙介质。如果想用电容传感器测位移，就要确保后两者不会变化。可以测量导体材料和非导体材料（测量非导体材料时，采用变介电常数原理）。绝对误差可以达到0.1微米，分辨率达到0.0375纳米。但是要求不能有油污和水等影响因素（恒定的油污和水也是可以补偿的，不恒定的就会有问题），否则会影响电容的介电常数。
可以采用电容式测量方法，可以在线检测压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测.传感器是一个单一的通道，高性能线性位移测量系统，创新的电容位移测量技术，提供了纳米测量能力，成本低，适合测量任何导电目标。
