电容位移传感器作为一种非接触式的精密测量仪器,凭借其无磨擦、无损磨、无惰性的特点,以及信噪比大、灵敏度高、零漂小、频响宽、非线性小、精度稳定性好、抗电磁干扰能力强等诸多优点,成为了科研、教学和生产中不可或缺的测试工具。
电容位移传感器主要有以下几种类型:
(1)平板电容传感器:由两个平行金属板构成,当被测物体移动时,两金属板之间的电容值发生变化,从而实现位移测量。
(2)空气电容传感器:利用测量被测物体与传感器之间的空气电容变化来实现位移测量。
(3)弹性电容传感器:结合弹性材料和电容传感器原理,可以实现对弹性体变形的测量。
(4)压电电容传感器:结合压电效应和电容传感器原理,可以实现对压力和位移的测量。