由大量具有相等宽度和相等间距的平行狭缝组成的光学器件称为光栅。常用的光栅是通过在玻璃板上雕刻大量平行刻痕而制成的。刻痕是不透明的部分,并且两个刻痕之间的光滑部分可以透射光,这相当于狭缝。精制的光栅在1厘米宽的范围内具有成千上万个缺口。
这种使用透射光进行衍射的光栅称为透射光栅。也有光栅使用在两个凹口之间衍射的反射光。例如,在镀有金属层的表面上刻有许多平行的凹口,并且在两个凹口之间存在光滑的金属。表面可以反射光,并且该光栅成为反射光栅。
光栅传感器的特点:
(1)精度高。在大范围内测量长度或线性位移方面,光栅传感器仅次于激光干涉传感器。在圆分度和角位移的连续测量中,光栅传感器是最精确的。
(2)高分辨率的大范围测量。感应同步磁传感器和磁性光栅传感器也具有测量范围大的特点,但分辨率和精度均不如光栅传感器。
(3)可以实现动态测量,并且易于实现测量和数据处理的自动化。
(4)具有很强的抗干扰能力。对环境条件的要求不像激光干涉传感器那么严格,但是却不如感应同步和磁栅传感器那样适应。油和灰尘会影响其可靠性。主要适用于环境较好的实验室和车间。