1、流动路径
压力和质量气流传感器之间最明显的区别在于是否存在气流路径。为了使质量流量传感器正常工作，气体必须能够流过它。流路中的任何限制，例如污垢或液体，都会改变气动阻力，从而改变输出。相反，压力传感器是死胡同。
其管道系统中唯一的气流是由气体在压力下压缩或膨胀引起的少量气流。如果堵塞足以几乎完全阻塞管道，管道系统中的污垢或液体只会导致输出差异。流路中最终到达质量气流传感器内表面的污染也可能影响到传感元件的热传递，从而再次影响输出。
2、稳定性和分辨率
因为质量气流传感器是一种热装置，所以它在零流量（或零压差）下比基于应力的压力传感器更稳定。但是，上述故障模式会影响传感器输出的斜率。压力传感器的故障模式都倾向于影响设备的零压力偏移。压力传感器的斜率很少发生变化。
此外，质量气流传感器的传感元件在低流量时将比高流量时具有更高的输出。这意味着，即使输出已被校正为线性信号，质量气流传感器在非常低流量时也将比在高流量时具有更好的分辨率。压力传感器的输出在其工作范围内自然几乎是线性的，因此分辨率不会改变。与同等压力传感器相比，质量气流传感器在非常低的流量下具有更好的分辨率和稳定性。
3、抗污染
流路中的污染会以多种方式影响质量气流传感器的输出。即使是传感元件本身上非常薄的液体或污垢薄膜也会影响热传递，并可能导致斜率误差。除此之外，如果传感器如前所示在旁路配置中使用，任何在管道路径中产生额外阻力的东西都会影响测量。迫使相同数量的流量通过堵塞的管道需要额外的压力，这将改变流量和压力之间的关系。
相比之下，封闭式压力传感器的管道中几乎没有空气流动。唯一的运动是必须流入或流出以产生压力变化的少量空气。严重堵塞的管子可能会在高频应用中产生频率响应问题；但是，传感器的输出将是正确的。通过使用压力传感器和可以创建一个几乎无故障的系统并行的质量气流传感器进行相同的测量。
由于压力传感器中的大多数故障模式都会影响偏移量，而流量传感器中的大多数模式都会影响斜率，因此这两个设备不太可能同时以相同的方式发生故障。压力传感器的斜率将比质量气流传感器的斜率更稳定，并且不太可能受到污染的影响。
4、自动调零技术
自动调零是一种压力传感器校准技术，它基于在已知参考条件下对输出进行采样，以允许对输出误差进行额外的外部校正，包括偏移误差、偏移热效应（偏移偏移）和偏移漂移。
