长期稳定性是决定压力传感器整体测量精度的最重要参数之一。压力传感器的长期稳定性由传感器校准间隔期间零值和量程值的最大可接受变化定义。简而言之,要使传感器被认为是稳定的,它应该在校准间隔内保持非常低的测量漂移。
有多种因素会影响压力传感器的长期稳定性,尤其是对于硅压力传感器-传感器芯片、机械应力、环境条件等。此外,由于传感器被封装并转换为换能器,电子设计和封装等过程增加了换能器的整体漂移。精密硅压力传感器进一步放大了这个问题,其中误差范围非常有限。
提高这些传感器的长期稳定性涉及了解各种漂移引起的因素并对这些过程进行更正或调整:
1.传感器元件传感器元件和各种子组件(如硅和隔离膜片)的制造质量会影响稳定性以及增加机械应力的安装组件。
2.电子器件在传感器中集成和转换传感器输出的过程需要带有关键组件的电子器件,这些组件会由于分辨率、温度效应和设计引起的应力效应而导致输出漂移。
3.固件传感器内部的表征过程决定了它在不同温度下的性能,并决定了压力输出。
4.制造过程压力传感器的制造过程涉及压力参考标准和确定过程参考不确定性的表征室。
为了提高和保持硅传感器的稳定性,必须找到优质压力传感器并调整制造工艺、电子设备和固件以获得所需的稳定输出。