以压电陶瓷为驱动源，专为带载物镜做纳米级步进运动的压电位移台，称之为压电物镜步进器。压电物镜步进器是专门为物镜聚焦显微而设计的，采用无回差柔性铰链并联导向机构设计，物镜补偿量较小，具有超高聚焦稳定性，物镜步进器装入显微检测/测量或者观测装置可以带动镜片聚焦提高精度，可与多种高分辨率的显微镜配合使用。芯明天压电物镜步进器类别：1、P72：运动自由度Z；位移110μm；分辨率2.5nm；谐振频率0.35kHz；大承载0.2kg 2、P73：运动自由度Z；位移220-550μm；分辨率5-7nm；谐振频率0.17-0.28kHz；大承载0.2-0.4kg 3、XP-721：运动自由度Z…
前置放大器也有两种形式：电压放大器和电荷放大器。电压放大器的输入电压与连接线路的分布电容Cc有关，当连接线路的长度改变时，分布电容Cc随之改变，输入电压Ui也随之改变，所以压电传感器放大器之间的连接线路不能随意更换，否则影响测量结果。电荷放大器的输出与分布电容无关，只取决于输入电荷和反馈电容，且与q成正比，与分布电容无关，因此可以进行远距离测量，并且连接线的分布电容变化也不影响灵敏度，这是电荷放大器的最大特点。
