用于光学移相作用的压电扫描台、压电陶瓷促动器,称之为压电式移相器。天压电式移相器产品分类:直驱机构P77系列压电式移相器:位移7-20μm;大承载5-15kgP77系列压电式移相器为一维Z轴运动平台,压电陶瓷直驱机构,内置高性能压电陶瓷,可以实现Z轴20μm的位移行程,无摩擦柔性导向机构具有超高的分辨率,闭环版本定位精度可达纳米级。
因压电式传感器的输出电阻很大、电荷量很小;普通放大器输入电阻较小,不能直接放大;阻抗变换器具有输入阻抗高,输出阻抗小。电荷放大器具有输入阻抗高,输出电压与压电式传感器电荷成正比、与反馈电容成反比;与电缆分布电容无关;电压放大器具有电路简单,成本低,压电式传感器须与电缆配套使用。
需要配合放大器使用的传感器主要包括以下类型:1.压力传感器:常见的压力传感器有应变式、压阻式、电容式等。这些传感器的输出信号很小,需要通过放大器进行放大。2.温度传感器:常见的温度传感器有热电偶、热敏电阻、热电阻等。这些传感器的信号也很小,需要使用放大器进行放大。3.光学传感器:包括光电管、光电二极管、光敏电阻等。这些传感器的输出信号也较小,需要通过放大器进行放大。4.位移传感器:包括电容位移传感器、电感位移传感器、激光干涉仪等。这些传感器的输出信号一般也需要通过放大器进行放大。5.加速度传感器:包括压电加速度传感器、电容加速度传感器等。这些传感器输出的信号也较小,需要通过放大器进行放大。