扩散硅压力传感器是利用压阻效应原理,采用集成工艺技术,通过掺杂和扩散,沿单晶硅晶片上的特征晶体取向,形成抗应变性,形成惠斯凳电桥。利用硅材料的弹性力学性能,并在相同的硅材料上进行各向异性微加工,制成了一种结合了力灵敏度和力-电转换检测功能的扩散硅压力传感器。
扩散硅压力传感器:选择说明类型
1.传感器和变送器的选择
根据所测压力的性质,用户应首先确定表压(相对于当地大气压),压差,压力或负压的选择。如果测量液位,则还必须确定液位是高于自由大气压还是高于密封容器的压力。如果测量密封压力容器中的液位,则应使用差压产品。
2.确定产品范围
从产品安全的角度考虑,通常最好在标准范围值的60%-80%之内选择工作压力值。由整个测量系统中可能发生的异常情况引起的过载压力不得超过产品允许的最大过载。在测量动态管道的液体压力时,还应考虑水流下垂的影响,并适当增加产品负荷。
3.产品精度选择
产品等级根据多个参数进行分类。等级越高,价格越贵。用户可以根据检测到的工作条件要求每个参数精度指标,从而以较低的价格实现更高的精度要求。产品给出的三个精度指标是使用国际最小二乘法或端基转换法计算的。选择传感器时,应根据测量系统分配给传感器的最大误差选项确定精度等级。有时还应考虑零时漂移,零和满量程温度系数带来的附加误差。
4.选择产品的温度范围
组装电路后,某些系列的变送器具有集成的温度补偿。补偿范围已在各个产品介绍中标出。对于使用宽温度范围并要求较高总精度的用户,也可以使用软件在辅助仪器数据处理中执行温度误差校正。如果在补偿区域之外使用,温度系数指数可能会超出标准,但仍可以使用。在温度限制区域中长期工作将大大缩短产品寿命。
5.压差传感器和变送器的选择
当高压端压力高于低压端压力时,通常使用通用压差传感器和变送器。尽管扩散硅传感器也可以用于负压差,但通常两个压力导入端基本对称,但负压通常没有单独的校准端。如果用户要求两个压力端高度对称,则需要特别通知。低压端用于系统中可能出现的超负范围。
6.频率响应特性
扩散硅压力传感器的固有频率高于其他产品。另外,更多的情况是传感器结构的压力室的结构参数和传感器结构的刚体的尺寸的影响。后者不能是无限的,所以主要它仍然受压力室的影响。
7.与被测介质匹配
传感器,变送器接口和电子外壳由多种不同的结构材料制成。它具有不同的媒体兼容性。为了获得最佳使用效果,不会因介质不匹配而损坏产品。用户在选择和订购时应了解介质的准确名称,浓度和温度。
扩散硅压力传感器:产品安装和使用注意事项
在安装和拆卸螺纹产品时,必须使用扳手来拧紧六向操作。在安装过程中,请勿过度拧紧。严禁夹紧和拆卸其他零件,以免损坏相关的连接零件。请勿将尖锐或坚硬的物体插入压力孔的末端,以免损坏敏感膜或隔离膜,并且严禁撞击,碰撞或掉落。
扩散硅传感器的零输出不能通过单臂电阻法直接消除,而可以通过软件零法,差分输入微调法,T型电阻网络校正等来消除。