薄膜技术的发展催生了目前许多不同行业使用的一些最先进的传感器。薄膜传感器精确、稳定、可靠且便宜，与传统传感器相比具有众多优势。薄膜传感器的大多数应用都利用其小尺寸和为工程师提供的选择——其独特的外壳对于特定应用来说是特别有用的功能。
薄膜传感器技术的一些更有趣的用途在于医疗领域。当医用泵和灌溉系统因管道堵塞或泵故障而中断时，可能会造成毁灭性甚至致命的后果。医疗设备工程师经常使用“管传感器”来跟踪这些泵系统中的压力。这些传感器的工作原理是测量传感器上的压力，传感器放置在聚氨酯或PVC管的加宽壁上。设备制造商还可能在泵后面放置一个传感器，以跟踪泵在运行过程中推动传感器时的压力。
薄膜传感器已表现出在这些和其他应用中有效所需的必要的可重复性、耐用性和精度。薄膜压力传感器通常用于工业应用，特别是液压设备和车辆，如起重机、压路机、叉车和农业机械。这是因为液压系统的所有基本功能都需要精确跟踪液压。
相对于传统传感器，薄膜传感器存在的优势
与传统传感器相比，薄膜传感器器件具有许多优点。薄膜技术使得传感器元件变得特别小和紧凑，同时在精度和持久稳定性方面保留了令人印象深刻的属性。薄膜可以沉积并熔合到多种基材上，包括陶瓷材料和高级特种钢。研究表明，这些传感器的响应时间更加快速和准确，而尺寸允许紧密放置并减少对外部电路的需求。
用于生产薄膜传感器的生产方法现已成熟，可以高效、低成本且规格非常精确。薄膜生产方式有许多优点。众多主要优点之一是换能器和沉积薄膜之间的真正分子键。这种弯曲/介电界面不含任何可能吸收水分或随着时间的推移发生反应的有机材料和氧气。溅射薄膜传感器可以抵抗与粘合箔测量仪中的有机背衬材料相关的问题。不含有机物也意味着这些设备能够在极端温度下运行。
薄膜传感器是通过溅射工艺将材料直接沉积到真空沉积室中的固定装置上而生产的。溅射系统可以进行过程控制，从而可以以高度可重复性生产薄膜。与标准仪表相比，在生产中通常可以实现更严格的电桥电阻和零平衡控制。薄膜沉积速率几乎与输入功率成线性关系，并且速率可以适当减慢，以便可以在短时间内利用低功率沉积非常薄的薄膜。通过调整溅射参数，可以创建标准电桥以满足具有挑战性的绝缘电阻要求。
