薄膜沉积是在另一种较厚的基材材料上生成非常薄的材料涂层的过程。使用掩模技术构建不同材料的薄膜层，以在基材表面上创建电子器件。这导致高度稳定的微型电子元件保留了基材材料的机械性能。
应变计是一种测量施加力的装置。当应变片元件被拉伸或压缩时，应变片的电阻或阻抗将发生变化。应变计被集成到旨在利用应变计灵敏度的电路中，从而将由此产生的电阻变化转换为可测量的电压，该电压可以发送到其他电子设备进行进一步处理。
压力传感器是一种测量或检测液体或气体压力并将其作为特定类型和格式的信号发送的设备，该信号由连接的监测和控制仪表识别。
薄膜传感器的类型
1.高温应变传感器技术–这些压力计可在超过1000°C的温度下正常工作，这优于传统传感器的700°C极限。
2.薄膜热电偶–薄膜热电偶可薄至10μm，可用于多种基板系统。
3.热通量传感器–热电堆型传感器使用薄膜热电偶测量温差，而基于RTD的传感器则基于薄膜RTD。
4.流量传感器——薄膜流量传感器可以测量比传统传感器更靠近表面的边界层流量；65μm远相比于约250μm。
5.多功能传感器——一些薄膜传感器可以同时测量温度、压力和热通量。
